日本富士工業(yè)fuji高精度單組分密度計(jì)

產(chǎn)品型號(hào)： FUD-1 Model-130

所屬分類：

產(chǎn)品時(shí)間：2024-09-05

簡(jiǎn)要描述：日本富士工業(yè)fuji高精度單組分密度計(jì)FUD-1 Model-130
Model-130是一個(gè)概念模型，強(qiáng)調(diào)了所測(cè)量濃度的穩(wěn)定性，
在需要高精度和高穩(wěn)定性密度計(jì)側(cè)的半導(dǎo)體制造過程中非常有效。

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日本富士工業(yè)fuji高精度單組分密度計(jì)FUD-1 Model-130

產(chǎn)品總覽

該模型被定位為FUD-1 Model-13的模型，可滿足諸如高精度和高穩(wěn)定性測(cè)量等客戶需求。

單組分密度計(jì)的特點(diǎn)

Model-130是一個(gè)概念模型，強(qiáng)調(diào)了所測(cè)量濃度的穩(wěn)定性，
在需要高精度和高穩(wěn)定性密度計(jì)側(cè)的半導(dǎo)體制造過程中非常有效。

值得

可以高精度連續(xù)測(cè)量
免維護(hù)，無(wú)需定期調(diào)整/校準(zhǔn)
易于安裝，因?yàn)樵诎惭b過程中無(wú)需進(jìn)行任何調(diào)整
通過實(shí)時(shí)輸出輕松反饋到過程

用途

CMP過程中的CMP漿料或氧化劑濃度控制
稀釋過程中各種化學(xué)濃度的管理（H2O2，TMAH，HNO3，H2SO4，HCl等）
清潔過程中的清潔液濃度控制（HF，NH4OH，KOH，IPA等）
控制蝕刻過程中的蝕刻液濃度（HF，H2SO4等）

日本富士工業(yè)fuji高精度單組分密度計(jì)FUD-1 Model-130

規(guī)范

格式		FUD-1 130型
測(cè)量參數(shù)		超聲波傳播速度/溫度
顯示		LCD（密度，溫度，聲速/各種參數(shù)）
輸出信號(hào)		模擬DC4-20mA（可設(shè)置任何濃度值）數(shù)字RS232C（密度/溫度/聲速/錯(cuò)誤代碼）警報(bào)上下限測(cè)量錯(cuò)誤
電源供應(yīng)		AC100V-240V 50 / 60Hz兩用30VA（也可使用DC24V）
施工		面板安裝類型（符合DIN標(biāo)準(zhǔn)）
功能		輸出范圍設(shè)定功能，警報(bào)輸出設(shè)定功能，濃度顯示移動(dòng)平均功能，濃度顯示偏移及增益設(shè)定功能，自診斷功能，故障保險(xiǎn)功能，異常值取消功能
選項(xiàng)		溫度輸出（DC4?20mA）
渠道		高達(dá)10Ch
電纜		6米
濕件材料		PFA涂料
配件		公稱直徑為1/2到1英寸的各種類型
測(cè)量環(huán)境	轉(zhuǎn)換器	10-40 ℃ RH85％以下
	發(fā)射機(jī)	5-45°攝氏度
	測(cè)量液體溫度	0-50°攝氏度
	耐壓性	0.3兆帕
	流量	5 l / min以下

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